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  • 產(chǎn)品詳情
    • 真空回流爐

    • 德國ATV 公司一直致力于真空、熱處理設(shè)備的生產(chǎn)開發(fā)。其真空回流爐焊接系統(tǒng),通過紅外燈管加熱,在冷壁式腔體中實現(xiàn)快速升溫回流和硬釬焊的工藝。SRO-706Getter型真空回流爐,工作區(qū)域尺寸300mmX240mm。此款回流爐可以對MEMS器件在高真空下做充分的烘烤除氣,減少器件內(nèi)部吸附的氣體.對MEMS器件內(nèi)部的吸氣劑進行高溫激活,使得吸氣劑能在器件工作壽命期間持續(xù)吸收器件內(nèi)部釋放出的以及從大氣微漏至器件內(nèi)的氣體;對MEMS器件的管殼和蓋板實現(xiàn)高氣密性的封焊,焊接面上無空洞。
    • 產(chǎn)品文檔:

    真空回流爐

    發(fā)布時間 : 2025-05-08 11:23

    ATV公司于1972年成立于德國慕尼黑,業(yè)務(wù)專注于真空熱處理工藝設(shè)備,主要應(yīng)用在混合電路、半導(dǎo)體和表面貼裝領(lǐng)域。;理想的焊接系統(tǒng),帶快速退火功能的焊接回流爐(SRO),是一個多用途“冷壁”工藝焊爐。SRO是R&D,工藝研發(fā),由低至高產(chǎn)能生產(chǎn)的理想選擇。全自動生產(chǎn)能力可有多種方式實現(xiàn):與粘片機在線集成、與粘片機系統(tǒng)集成、盒對盒晶片傳送或帶機器人系統(tǒng)的襯底傳送. 應(yīng)用領(lǐng)域主要應(yīng)用領(lǐng)域為無缺陷焊接和無助焊劑焊接、IGBT封裝、焊膏工藝、管殼蓋板封裝、MEMS及真空封裝。

    技術(shù)參數(shù)
    尺寸: 960x720x1340(長、寬、高)
    工作高度: 950 – 1050mm 可調(diào)
    重量: 240kg\
    加熱區(qū)域尺寸: 313x240mm
    加熱原理: 紅外輻射
    加熱方式: 上、下雙層紅外燈管陣列排放, 石英管套在燈管外層起到保護作用
    加熱區(qū)域: 分6個區(qū)域由各自的PID控制
    腔體門手動開關(guān);自動上鎖解鎖
    閉環(huán)式冷卻水循環(huán)系統(tǒng)
    功率: 19kW
    電源: 3 x 400VAC 50/60Hz; 32A
    加熱板上方空間高度: 100mm
    *高溫450°C
    均溫性: 加熱板面積的85%區(qū)域內(nèi) (加熱板邊緣往里15mm), 均溫性< +/-2-3% 
    氦漏率 < 5,0 x 10-9mbar x l/s
    直徑25mm前端可視窗
    可選項
    真空
    ?<5 x 10-2mbar, 機械干泵
    ?<5 x 10-6mbar, 機械干泵/分子泵
    氣體分析
    ?殘余氣體分析
    ?O2 監(jiān)測
    ?濕氣 (水) 監(jiān)測

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